Xinming P15系列XYZ压电纳米定位平台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位平台。通过闭环控制，可以实现亚纳米级的高精度运动，并且在XYZ平面上的移动范围可以达到300微米。 P15使用通过有限元分析（FEA）优化的线切割挠性铰链结构。 FEA使它的设计具有最高的刚度，并最大程度地减少了线性和角跳动。闭环版本采用高精度传感器反馈，并与E70系列闭环控制器配合使用，具有很高的稳定性。桌子的中央有一个66×66mm的大通孔，非常适合显微成像和显微操作等应用。加载步时间闭环上升曲线，全行程步时间60ms。闭环压电控制器E70.D3S压电控制器采用专用运算放大器电路，以确保高电压和大电流的输出容量。通过优化感应伺服模块，提高了PI调节和控制的精度和稳定性，并具有可靠的抗干扰性。该设计保证了控制器的高频响应速度。 q