工业自动化是一种趋势，其中自动控制和自动调节装置广泛用于工业生产中，以代替用于加工和生产的机器和机器系统的手动操作。随着智能制造的发展，人机交互，自动化和智能应用的水平不断提高，对设备制造的过程和产品质量的要求也越来越高。另外，工业自动化控制产品的应用领域不断扩大，从而带动了对工业产品的需求。工业自动化是一项重要的业务，并且正在朝着新的方向发展。对品种，定制产品和产品差异化的需求不断增长，使得制造商难以批量生产零件。但是，小批量和批量生产将给组织带来巨大的成本。企业可以探索工业自动化领域中的新技术和新机会。这个机会是微机电系统（MEMS）。在机电一体化之后，这是微型机电一体化的时代。 MEMS体现了先进的半导体技术，该技术包括在单个芯片上移动部件和电子部件。它致力于将集成电路制造技术（例如互补金属氧化物半导体（CMOS），BiCMOS（双极结晶体管）与CMOS技术集成）与创新的硅微加工444相结合。其可靠性，可扩展性，灵敏度和成本MEMS技术提供的高效解决方案为工业自动化领域提供了大量MEMS应用机会。工业微型在机电一体化时代，MEMS技术特别适用于工业机器人，因为该技术可以应用于触觉传感器，导航或接近传感器。由于商业可行性低的趋势以及在工业领域中根深蒂固的一些非MEMS接近感测技术的发展，限制了将MEMS技术应用于制造接近或位置传感器的研究。但是，MEMS技术允许开发或生产成本更低的触觉传感器，从而使机器人能够以更加通用和自主的方式获取感觉信息，从而做出决策并执行动作。小型化的趋势为在机器人技术，制造过程，过程控制，生物技术和生命科学领域中应用多传感器带来了机遇。 MEMS成本的关键技术驱动因素：MEMS技术最初采用的主要原因成本是驱动因素。 MEMS技术具有降低成本的巨大潜力，因为它很容易批量生产。例如，模拟设备公司的制造方法已经标准化，并且每年可以出货数百万个加速度计。与传统传感器制造相比，此过程得到了简化，所需的劳动力更少。多用户MEMS工艺（MUMPS）是一种标准化的表面微加工技术，它是在MEMSCAP 1中使用多晶硅制造MEMS器件的最便宜的制造技术之一。硅是制造MEMS器件的主要材料。它可以使MEMS制造非常具有成本效益和利润。更高的灵敏度：MEMS传感器比传统传感器更灵敏。这是MEMS传感器优于传统传感器的主要原因，尤其是在高精度和高精度应用中。小尺寸优势：紧凑是电子或机械设备市场的主流趋势。 MEMS技术提供了在较小区域内填充更多MEMS组件的能力，这可以减小特定产品的整体尺寸。具有多种功能的MEMS组件可以增强工业机器人等产品的功能。 MEMS传感器渗透到广泛的应用领域，并促进了工业自动化的发展。工业自动化是具有成熟过程的成熟市场。它也高于商品传感器。市场的数量对价格敏感；而且大多数流程都是一次性投资。目前，基于MEMS的传感器技术在该领域的渗透通常仅限于过程监控应用，工业安全，机械监控和装配线制造应用。但是，随着工业领域向智能，分布式和无线监控的发展，MEMS技术可能在该领域中扮演着更重要的角色。越来越重要的作用。 MEMS支持的小型化和微机电集成化趋势正在推动工业应用的组件，设备，系统和子系统的发展。但是，集中资源